1 简介

真空(kong)泵是一种旋转式变容真空(kong)泵须有前级泵配合方(fang)可使用(yong)在较(jiao)宽(kuan)的(de)压力(li)范围内有较(jiao)大的(de)抽(chou)速对被抽(chou)除气体中含有灰尘和水(shui)蒸汽不(bu)敏感广泛用(yong)于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的(de)压力(li)范围内有(you)较大的(de)抽(chou)速；

(2)转(zhuan)子具有(you)良好的几何对称性，故振(zhen)动(dong)小，运转(zhuan)平稳。转(zhuan)子间(jian)(jian)及转(zhuan)子和壳体间(jian)(jian)均有(you)间(jian)(jian)隙(xi)，不用润滑，摩擦损失小，可大(da)大(da)降低驱动(dong)功率(lv)，从而可实(shi)现较高转(zhuan)速；

(3)泵腔内无需用(yong)油密封和润滑，可(ke)减少油蒸(zheng)气对(dui)真空系统的污染；

(4)泵腔内(nei)无(wu)压缩，无(wu)排气阀。结(jie)构简单(dan)、紧(jin)凑，对(dui)被抽(chou)气体中的灰尘和(he)水蒸(zheng)汽不敏(min)感；

(5)压(ya)缩比较低，对(dui)氢气抽气效果差(cha)；

(6)转子(zi)表(biao)面为(wei)形状较为(wei)复杂的曲线柱面，加工(gong)和检查比较困(kun)难(nan)。

3 结构

（1） 泵总(zong)体(ti)结构型式

真(zhen)空泵(beng)的泵(beng)体的布置结构(gou)决(jue)定了泵(beng)的总体结构(gou)。

立式结构的进、排气(qi)口水平设置，装(zhuang)配和连接(jie)管路都比(bi)较方(fang)便。但泵的重心较高(gao)，在(zai)高(gao)速运转时(shi)稳(wen)定性差(cha)，故(gu)这种型(xing)式多用于小(xiao)泵。

卧式泵(beng)的(de)进(jin)气口(kou)在上(shang)，排气口(kou)在下。有时(shi)为了(le)真空系统(tong)管道安(an)装连(lian)接(jie)方便，可(ke)将排气口(kou)从(cong)水平(ping)方向(xiang)接(jie)出，即进(jin)、排气方向(xiang)是相互垂(chui)直的(de)。此时(shi)，排气口(kou)可(ke)以(yi)从(cong)左或右两(liang)个(ge)方向(xiang)开口(kou)，除接(jie)排气管道一端(duan)外，另一端(duan)堵(du)死或接(jie)旁通(tong)阀。这种泵(beng)结构重心低，高速运转时(shi)稳定性好(hao)。一般(ban)大、中型泵(beng)多采用此种结构。

泵的两(liang)个转子轴与水平面垂直安装(zhuang)。这种结构装(zhuang)配(pei)间隙容(rong)易控制(zhi)，转子装(zhuang)配(pei)方便(bian)，泵占地面积小(xiao)。但泵重心较高(gao)且齿轮拆装(zhuang)不便(bian)，润滑机(ji)构也相(xiang)对复(fu)杂。

（2） 泵的(de)传动方(fang)式

真空泵(beng)(beng)的(de)(de)两个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子是通过一(yi)(yi)(yi)对高精度(du)齿(chi)轮(lun)来实现其相对同步(bu)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)。主动(dong)(dong)轴通过联(lian)轴器与电机(ji)联(lian)接。在(zai)传(chuan)动(dong)(dong)结(jie)构(gou)布置上(shang)主要有以下两种：其一(yi)(yi)(yi)是电动(dong)(dong)机(ji)与齿(chi)轮(lun)放(fang)在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子的(de)(de)同一(yi)(yi)(yi)侧(ce)如图。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子由电动(dong)(dong)机(ji)端(duan)齿(chi)轮(lun)直接传(chuan)过去带动(dong)(dong)，这样主动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子轴的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形小，则两个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子之间(jian)的(de)(de)间(jian)隙不(bu)会因(yin)主动(dong)(dong)轴的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形大(da)而改(gai)变，故使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子之间(jian)的(de)(de)间(jian)隙在(zai)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)过程(cheng)中均匀。这种传(chuan)动(dong)(dong)方式的(de)(de)最大(da)缺点是：a.主动(dong)(dong)轴上(shang)有三个(ge)轴承，增加了泵(beng)(beng)的(de)(de)加工(gong)和装配难度(du)，齿(chi)轮(lun)的(de)(de)拆装及调整也不(bu)便；b.整体结(jie)构(gou)不(bu)匀称(cheng)，泵(beng)(beng)的(de)(de)重心(xin)偏向(xiang)电动(dong)(dong)机(ji)和齿(chi)轮(lun)箱一(yi)(yi)(yi)侧(ce)。

    极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)一(yi)个重要参数(shu)，是反应泵(beng)抽气(qi)能(neng)力的(de)特性值(zhi)(zhi)，是与真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)一(yi)个数(shu)值(zhi)(zhi)，不同的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)可以(yi)有不同的(de)“极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”度(du)(du)(du)。而“理(li)论(lun)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是理(li)论(lun)研究时的(de)一(yi)个概念，是排除(chu)各种实际因(yin)素的(de)影响而提炼出的(de)一(yi)种最(zui)理(li)想的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)状(zhuang)态。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容器经(jing)充分抽气(qi)后，稳定在某一(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)(du)(du)，此(ci)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)(du)(du)称为(wei)极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)。通(tong)常(chang)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容器须经(jing)12小(xiao)时炼气(qi)，再经(jing)12小(xiao)时抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)，最(zui)后一(yi)个小(xiao)时每隔10分钟测量一(yi)次(ci)，取其10次(ci)的(de)平均值(zhi)(zhi)为(wei)极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)值(zhi)(zhi)。